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扫描电镜一种新型的电子光学仪器。它具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点。数十年来，扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中，促进了各有关学科的发展。
扫描电镜是利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像的。
真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。
真空柱是一个密封的柱形容器。
真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨枪的扫描电镜的真空要求，但对于装置了场致发射枪或六硼化镧枪的扫描电镜,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的密封室，用于放置样品。之所以要用真空，主要基于以下两点原因:电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以除了在使用扫描电镜时需要用真空以外，平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。
为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成象的电子更多。
电子经过一系列电磁透镜成束后，打到样品上与样品相互作用，会产生次级电子、背散射电子、欧革电子以及X射线等一系列信号。所以需要不同的探测器譬如次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要的信息。虽然X射线信号不能用于成象，但习惯上，仍然将X射线分析系统划分到成象系统中。
有些探测器造价昂贵，比如Robinsons式背散射电子探测器，这时，可以使用次级电子探测器代替，但需要设定一个偏压电场以筛除次级电子
一般情况下，大众理解的校准，指的是某类仪器到一定周期，或者是数据不太了，需要进行一个校准，在仪器失准情况下，进行校正修理。但是这种理解，跟计量行业的校准是有一定区别的。
计量行业的校准，是指在相关规定、流程下，对其仪器进行数据测量检测，并得到和该仪器规定的标准值之间，存在的误差值和关系的过程。
在计量行业中，校准的定义是只包括校准检测的工作，没有对仪器出现的问题进行修理校正的工作。
因此，很多时候产生误会的点就在这里，很多不了解行业详情的人，以为仪器交给校准机构进行校准，除了能得到校准数据，机构还会对仪器进行修理。实际上，一般校准机构只负责检测仪器数据是否失准，如果失准需要进行修理，需要询问校准机构是否可以做修理。
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